Проектирование откачной турбомолекулярной установки на базе ОВЕН ПЛК 110 с использованием привода MA860C для шибера KYKY
Список основных агрегатов:
1. Турбомолекулярный насос FF-200/1300FE
2. Контроллер ТМН: TCDP-II
3. Датчик высоковакуумный MTM-9D
4. Вакуумный датчик Пирани MTP-4D
5. Клапана электромагнитные
6. Форвакуумный спиральный насос
7. Затвор шиберный электромагнитный CCD-200A
Принципиальная схема установки
Мнемосхема панели управления овен СПК307
Принципиальная схема управления