Рубрика: Высоковакуумные системы

Шкаф управление откачным постом с использованием ПР200

Компоненты установки :

• Турбомолекулярный насос 1шт.
• Вакуумный пластинчато-роторный насос 3.7кВт 1шт
• Клапан электромагнитный 2шт.
• Датчик Пирани — 1 шт.
• Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом — 1 шт.

Функциональные возможности: 

• Световая индикация работы турбомолекулярного насоса, форвакуумного. Отображение давления на экране.
• Защита насосов от перегрузки – наличие автоматических выключателей.
• Защита от включения ТМН, если не достигнуто определенное давление.

Проектирование откачной турбомолекулярной установки на базе ОВЕН ПЛК 110 с использованием привода MA860C для шибера KYKY

Список основных агрегатов:
1. Турбомолекулярный насос FF-200/1300FE
2. Контроллер ТМН: TCDP-II
3. Датчик высоковакуумный MTM-9D
4. Вакуумный датчик Пирани MTP-4D
5. Клапана электромагнитные
6. Форвакуумный спиральный насос 
7. Затвор шиберный электромагнитный CCD-200A

Принципиальная схема установки

Мнемосхема панели управления овен СПК307

Принципиальная схема управления

Шкаф автоматизированного управления откачным постом лабораторной установки

Система автоматического управления представляет собой комплекс оборудования, размещённых в шкафу или пульте, служит для управления клапанами, компрессором, вакуумным насосом и блоком управления и питания регуляторов расхода газа.
Система автоматики реализована на базе контроллера ОВЕН, имеет 15” дисплей СП315-Р

Функционал

• Управление вакуумными пневматическими клапанами
• Питание и управление компрессором вкл/выкл
• Питание и управление высоковакуумным насосом вкл/выкл
• Снятие и подача сигналов с/на 3 регулятора расхода газа РРГ-12 через блок управления индикации и питания БУИП-3.
• Снятие сигналов с МТМ9D и МТP4D
• Визуализация состояния клапанов, насоса, компрессора, РРГ-12, вакуумных датчиков
• Режим работы: ручной/автоматический/полуавтоматический